术、离子蚀刻机就不要给他们看了！”

这是目前公司进展最快，也是最有可能投入使用的两项技术，可以给公司的半导体产业带来跨越式发展，正因为此，必须严格保密。

“是不是少了点？”杨东升对面是一个四十岁上下，戴金丝眼镜的男人。

这人就是东升半导体经理，也是公司新任的黄副总。

杨东升想了想道，“把光刻机的研究进度给他们看看！”

谷垍

半导体产业四大核心设备——光刻机、离子注入机、刻蚀机、薄膜沉积机，这其中光刻机是最经常被人提及的，原因很简单，因为光刻机是最难的。

杨东升也是正式涉足光刻机领域后，才知道这一块有多难。

如果是追着外国人的屁股研究的话，他们永远别想赶上别人，而且永远也别想盈利，他们无论做出何种等级的设备，西方国家马上就会解除对同等设备的禁运。

得益于杨东升的先知先觉，东升半导体决定直接上马极紫外线光刻相关技术。

光刻机三大核心部件——光源、镜头、工作台。

其中的关键光源技术，深紫外线使用的是准分子激光，跟下一代极紫外线光源相互的关联很少！

而且准分子激光技术应用很广泛，此项技术不止美国一家掌握，想绕过美国相对简单，相比之下极紫外线光源技术就比较妖孽了。

后世阿斯麦的极紫外线光刻机，使用的光源是采用激光持续轰击锡滴。

由于极紫外线只占锡滴发出的光很少一部分，大约只有百分之几，因此要使用足够强的激光轰击锡滴，才能发出足够强的光——至少得是3万瓦以上，而且还得持续不停的输出。

大功率的激光，持续不断的准确命中锡滴，每一项都是要命的技术。

在镜头上，极紫外线也与深紫外线有很大不同，极紫外线非常容易被吸收，深紫外线使用的透镜式镜头已经不能使用了，因为镜头会直接把极紫外线光线吸收掉，因此使用反射式镜头。

由于极紫外线的波长只有十几个纳米，深紫外线使用的纳米极精度，人工打磨镜头的技术也不能用了。

极紫外线用的反射式镜头，精度必须达到皮米级。

而且由于反射式镜头是一个不规则的椭球体——光源位于椭球体其中一个圆心，使用人工打磨，已经不可能。

必须要用等离子自动抛光设备，这东西中国没有，国外也买不来，只能自己造。

镜头上还要镀膜，把极紫